Eine Turbomolekularpumpe ist eine mechanische Vakuumpumpe. Sie arbeitet, indem sie das Pumpgas in einer molekularen Strömung fördert, arbeitet also wie die von Wolfgang Gaede 1913 erfundene Molekularpumpe.
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Wie andere Molekularpumpen erzeugt eine Turbomolekularpumpe eine molekulare Strömung. Um dies zu erreichen, müssen zwei Bedingungen erfüllt sein:
 Ihre Rotorschaufeln müssen sich mindestens mit der mittleren Geschwindigkeit der zu fördernden Gasteilchen bewegen, damit sie einen Impuls auf sie übertragen können, und
 die freie Weglänge der Gasteilchen muss in der Größenordnung der Abmessungen der aktiven Teile liegen, damit die molekulare Strömung nicht zum Erliegen kommt.
Deshalb erreichen die Rotoren von Turbomolekularpumpen sehr hohe Drehzahlen, die in der Größenordnung von zehntausenden Umdrehungen pro Minute liegen.
Trifft ein Gasteilchen auf eine Turbinenschaufel, wird es durch den Stoß in Pump- und Rotationsrichtung beschleunigt. Die Schaufeln der nächsten Statorscheibe leiten es weiter in Pumprichtung, wodurch es in den Bereich der nächsten Turbinenscheibe kommt. Aufgrunddessen, dass die Pumpe mit einer Molekularströmung arbeitet, und der Mindestabmessungen, die die Turbinenscheiben konstruktiv haben müssen, kann eine reine Turbomolekularpumpe nur bis zu Vorvakuumdrucken im Bereich von einigen 10 Pa arbeiten und benötigt ein entsprechend gutes Vorvakuum. Durch Kombination mit einer oder mehreren Molekularpumpstufen kann der Vorvakuumdruck auf etwa 1500 Pa erhöht werden[
https://de.wikipedia.org/wiki/Turbomolekularpumpe

Fluten bezeichnet den Gaseinlass in eine Vakuumapparatur oder Vakuumpumpe. Wird eine Turbopumpe abgeschaltet, so kommt der Rotor zum Stillstand, die Verunreinigungen auf der Vorvakuumseite (Kondensat) diffundieren in den Vakuumbehälter zurück und verunreinigen Wände und Objekte. Durch Einlass von trockenem Gas in die Turbopumpe wird die Verunreinigung der Vakuumkammer fast ausgeschlossen. Beim Fluten sollte mindesten ein Druck zwischen 10 bis 1000 mbar erreicht werden.
https://www.google.de/url?sa=t&rct=j&q=&esrc=s&source=web&cd...
(abgeschrieben, da nicht kopierbar)

Domain Physical sciences, Chemistry
de
Definition Vakuum-Pumpe … zur Erzeugung von Hoch- und Ultrahochvakua
Term Turbopumpe
Reliability 3 (Reliable)
Context Die Turbomolekularpumpe wurde 1957 von Dr. W. Becker im Hause Pfeiffer Vacuum entwickelt und patentiert. Turbomolekularpumpen, im Folgenden auch kurz als Turbopumpen bezeichnet, gehören zu den kinetischen Vakuumpumpen.
Context Ref. Pfeiffer Vacuum GmbH, "The Vacuum Technology Book", Pfeiffer Vacuum GmbH, Asslar, 2008, S. 81
Term Turbomolekularpumpe
Reliability 3 (Reliable)
Context Der Vorteil von Turbomolekularpumpen ist, dass sie ein sehr sauberes, ölfreies ... Vakuum erzeugen.

fr
Term pompe turbomoléculaire
Reliability 3 (Reliable)
Term Ref. Règlement (CE) n° 440/2008 de la Commission du 30 mai 2008 établissant des méthodes d'essai conformément au règlement (CE) n° 1907/2006 du Parlement européen et du Conseil concernant l'enregistrement, l'évaluation et l'autorisation des substances chimiques, ainsi que les restrictions applicables à ces substances (REACH) , eur-lex.europa.eu/Lex...
http://iate.europa.eu/SearchByQuery.do?method=searchDetail&l...

5. Betrieb
5.1 Wahl der Flutart
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5 Operation
5.1 Venting Mode Selection
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5. Mise en service
5.1 Choix du mode de remise à l’air
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4.1.5 Fluten
Achtung!
Die Turbopumpe darf nur über das montierte Flutventil geflutet werden, nicht über den Hochvakuum- oder Vorvakuumanschluss.
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4.1.5 Venting
Caution:
The tubomolecular pump must always be vented via the venting valve fitted, and not via the high or fore vacuum connection.
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4.1.5 Remise à l’air
Attention!
La popme turbomoléculaire ne peut être remise à l’air que par la vanne de remise à l’air qui est installée, et non par le raccordement du vide élevé ou du vide primaire.
https://www.google.de/url?sa=t&rct=j&q=&esrc=s&source=web&cd...
(ebenfalls abgeschrieben, da gepixelter Text, Suchen funktioniert nicht, nur Lesen)

Noch eine anderer Pfeiffer-Turbomolekularpumpe:
Pompe turbomoléculaire. TPH 062 / TPU .... Raccordement d'équipements de remise à l'air: par le biais du ... MISE EN MARCHE de la pompe turbomoléculaire:.
https://www.google.de/url?sa=t&rct=j&q=&esrc=s&source=web&cd...
(auch nicht kopierbar)
Anmerkung: Pfeiffer Vaccum ist einer der Markführer, wenn nicht gar der Markführer weltweit.

La station de pompage turbomoléculaire T-Station 75 associe en toute transparence une pompe turbomoléculaire EXT75DX et une pompe sèche ou une pompe à joint d'huile à un simple contrôleur et fournit des vitesses de pompage allant de 42 l/s à 61 l/s.
La T-station 75 est équipée en standard d'un contrôleur de jauge TAG (jauge active et turbo), qui permet le démarrage/l’arrêt du système à l’aide d’un simple bouton, offre la possibilité de commander une de nos jauges actives* et les vannes de remise à l’air* et permet aussi un démarrage différé de la pompe turbomoléculaire lié au temps ou à la pression si une jauge est installée ; cela rend la T-station 75 idéale pour les applications générales de laboratoire. https://www.edwardsvacuum.com/fr/TS75/
(endlich mal wieder kopierbar)

1.3 Une installation de vide
Remise à l’air
Capteur de Pression
Enceinte à vider
Canalisation
Vanne d’isolement
Pompe
https://www.google.de/url?sa=t&rct=j&q=&esrc=s&source=web&cd...